MKS AX8561臭氧發(fā)生器介紹

MKS AX8561臭氧發(fā)生器已經(jīng)被O3CS臭氧緊湊系統(tǒng)替換，O3CS緊湊型臭氧系統(tǒng)使用6級氧氣產(chǎn)生純臭氧，為半導(dǎo)體行業(yè)創(chuàng)造高質(zhì)量薄膜。臭氧與各種前體氣體(如Al2O3, ZrO2, HfO2和La2O3金屬氧化物)反應(yīng)，使薄膜沉積過程如原子層沉積(ALD)和蝕刻(ALE)。MKS的臭氧發(fā)生器電池技術(shù)，結(jié)合高純度濕潤材料和遠(yuǎn)低于其他臭氧發(fā)生器所需的摻雜氣體水平，產(chǎn)生超清潔，高濃度臭氧，從而提高薄膜密度和產(chǎn)品收率。

可采用獨立形式或與多達(dá)4個通道單元集成到系統(tǒng)機(jī)架中，每個單元向設(shè)備室輸送精確的臭氧濃度。O3CS臭氧氣體輸送系統(tǒng)采用了MKS現(xiàn)場驗證的模塊化臭氧產(chǎn)生技術(shù)、集成臭氧濃度監(jiān)控器、O2和摻雜氣體種類的流量控制以及電子壓力控制器。

產(chǎn)品特性

?緊湊的臭氧輸送子系統(tǒng)易于與腔室工具集成

?濃度可達(dá)20 wt% (300 g/m3)

?流量從0.5到20 slm

?具有冷卻功能的臭氧電池

?全電子控制，包括閉路臭氧濃度控制與集成過程監(jiān)視器

- O2和摻雜氣體的質(zhì)量流量控制

-電子壓力控制，在過程點穩(wěn)定運行

?使用6級氣體制成的高質(zhì)量薄膜

?可配置的臭氧輸出，以適應(yīng)特定的工藝步驟，如沉積Al2O3

?清潔、安全，是傳統(tǒng)化學(xué)加工的替代方案

參數(shù)

型號:O3CS

很大臭氧輸出量*:25 - 225克/小時(取決于配置)

流量范圍:0.5至20 slm(取決于配置)

工作范圍

環(huán)境溫度:20 - 40°C(68 - 104°F)

標(biāo)稱電池壓力(輸送):0.7 - 3.1 bargauge (10 - 45 psig)

控制接口:遠(yuǎn)程操作，離散模擬I/O 25 pin D-sub, DeviceNet?，以太網(wǎng)Modbus TCP

原料氣

氧氣:6級或更好的氧氣

氮或二氧化碳:20 - 100 ppm 5級或更好的N2

1000 - 2000 ppm 5級或更好的二氧化碳

冷卻水

溫度:17 - 23°C(63 - 73°F)

過濾:100微米

質(zhì)量:電阻率≥50 KΩ/cm

很小流量@ 20°C

L/min:0.95 - 7.60 L/min很小(取決于配置)

Gpm:0.40 - 2.00 Gpm很小值(取決于配置)

交流電源

額定:208vac

相:三相GND(無中性點)

安培:額定電流2A - 10A很大(取決于配置)

Hz:50/ 60hz

重量(大約):40公斤(88磅)(取決于配置)

尺寸:(寬×深×高)482 × 429 × 267毫米(19 × 16.89 × 10.5英寸)

符合:SEMI S2-0302, SEMI F47, UL 61010-1, CAN/CSA-61010-1